Compressore d'aria senza olio per laboratori di semiconduttori

Per creare linee di servizio affidabili per strutture di ricerca di precisione, approvvigionarsi dai fornitori cinesi di compressori d'aria senza olio per laboratori di semiconduttori. Le soluzioni per aria ad elevata purezza DECHUAN utilizzano guarnizioni isolanti in carbonio multistrato per eliminare tracce di idrocarburi, garantendo la qualità incontaminata del gas per l'attacco critico del silicio.

Requisiti critici di purezza dei gas per camere bianche

Nella fabbricazione di semiconduttori e nella litografia a film sottile, anche una singola goccia microscopica di vapore d'olio trasportata attraverso la linea dell'aria può rovinare un intero lotto di produzione. Questo prodotto specializzato è progettato per soddisfare i più elevati standard di purezza:

• Erogazione dell'aria di Classe 0 certificata TÜV: i nostri sistemi sono sottoposti a test rigorosi a temperature operative variabili. Analisi indipendenti confermano l'assenza assoluta di tracce di olio nel flusso d'aria in uscita.

• Percorsi dell'aria interni esenti da corrosione: ogni pezzo di tubazione, fascio di raffreddamento e matrice di separazione a valle della camera di compressione è realizzato in acciaio inossidabile di prima qualità per impedire ai fiocchi di ruggine di contaminare le linee d'aria della camera bianca.

• Integrazione avanzata Elektronikon®: il controller integrato monitora attentamente i parametri operativi e dispone di arresti di sicurezza proattivi per garantire che l'aria impura non entri mai nella rete del laboratorio.

L’alto costo della microcontaminazione nell’elettronica

Nella fabbricazione di wafer semiconduttori, una singola gocciolina di aerosol d'olio può contaminare un intero ambiente di camera bianca, rovinando migliaia di wafer di silicio e causando milioni di perdite di tempo di produzione. I compressori d’aria tradizionali non possono garantire la purezza assoluta di idrocarburi pari a zero richiesta per questi processi su scala nanometrica.

Il compressore d'aria oil-free specializzato per laboratori di semiconduttori garantisce la massima sicurezza del processo:

• Flusso d'aria certificato CLASSE 0: testato rigorosamente dal TÜV in intervalli termici e di pressione estremi per garantire una presenza di olio pari a zero.

• Componenti interni privi di particolato: i preraffreddatori in acciaio inossidabile e gli scambiatori di calore con alette a stella eliminano i fiocchi di ossidazione o la dispersione di sostanze chimiche all'interno del percorso dell'aria.

• Protezione per il monitoraggio elettronico: gli allarmi di manutenzione proattivi e gli arresti automatici per guasto prevengono le deviazioni del sistema prima che raggiungano gli strumenti della camera bianca.

Parametri di purezza tecnica

• Potenza nominale del sistema: configurazioni ad alta densità da 55 kW a 900 kW.

• Portata volumetrica: uscita flusso pulito da 4,2 a 148,5 m³/min.

• Classificazione del contenuto di olio: certificazione ISO 8573-1 Classe 0 completamente oil-free.

• Layout di raffreddamento: raffreddamento del fluido in acciaio inossidabile che impedisce il degassamento chimico.

Le condizioni di riferimento prestazionali dell'unità sono state misurate secondo l'Allegato C, 4a edizione (2009) della norma ISO 1217:

· Umidità relativa: 0%

· Pressione assoluta in ingresso: 1 bar

· Temperatura di ingresso: 20°C La velocità di scarico (FAD) è stata misurata alle seguenti pressioni di esercizio:

Tipo a velocità costante:

·  tipo -7,5 bar: 7 bar

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo VSD:

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10,4 bar: 9 bar

· (2) Livello di pressione sonora di emissione ponderato in classe A della postazione di lavoro (LpWSAd). Misurato secondo ISO 2151:2004 (utilizzando il metodo di scansione dell'intensità sonora 150 9614/2). Il fattore di correzione appena aggiunto è un valore completamente incerto (KpAd), conforme al codice di prova.

· (3) Il peso è solo di riferimento; prevarrà il peso effettivo fornito.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Secondo la norma ISO 1217 Allegato C, 4a edizione (2009), le condizioni di riferimento prestazionali dell'unità sono le seguenti:

· Umidità relativa: 0%

· Pressione assoluta in ingresso: 1 bar

· Temperatura di ingresso: 20°C

Il FAD di spostamento viene misurato alle seguenti pressioni di esercizio:

Modelli a velocità costante:

Modelli da -7,5 bar: 7 bar

Modelli da -8,6 bar: 7 bar

-Modelli da 10 bar: 9 bar

Modelli VSD:

Modelli da -8,6 bar: 7 bar

Modelli da -10,4 bar: 9 bar

(2) Livello di pressione sonora dell'emissione della postazione di lavoro ponderato in classe A (LpWSAd). Misurato secondo ISO 2151:2004 (metodo di scansione dell'intensità sonora ISO 9614/2). Il fattore di correzione appena aggiunto KpAd è incerto e conforme al codice di prova.

(3) V1=380 V, V2=400 V.

(4) Il peso è solo di riferimento; prevarrà il peso effettivo.

ZR/ZT200-275 (FF)

-Umidità relativa: 0%

-Pressione assoluta in ingresso: 1bar

-Temperatura di ingresso: 20°℃

La velocità di scarico (FAD) è stata misurata alle seguenti pressioni operative

Tipo a velocità costante:

Tipo -7,5 bar: 7 bar

Tipo -8,6 bar: 7 bar

-Tipo 10 bar: 9 bar

Tipo VSD:

Tipo -8,6 bar: 7 bar

Tipo -10,4 bar: 9 bar

(2) Livello di pressione sonora dell'emissione della postazione di lavoro ponderato in classe A (LpWSAd).

Misurato secondo ISO 2151:2004 (utilizzando 150 9614/2 (metodo di scansione dell'intensità del suono).

Il fattore di correzione appena aggiunto è un valore completamente incerto (KpAd), conforme al codice di prova.

(3) Il peso è solo di riferimento; prevarrà il peso effettivo fornito.

ZR300-750

Le condizioni di riferimento prestazionali dell'unità sono state misurate secondo l'Allegato C, 4a edizione (2009) della norma ISO 1217:

· Umidità relativa: 0%

· Pressione assoluta in ingresso: 1 bar

· Temperatura di ingresso: 20°C La velocità di scarico (FAD) è stata misurata alle seguenti pressioni di esercizio:

Tipo a velocità costante:

·  tipo -7,5 bar: 7 bar

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo VSD:

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10,4 bar: 9 bar

· (2) Livello di pressione sonora di emissione ponderato in classe A della postazione di lavoro (LpWSAd). Misurato secondo ISO 2151:2004 (utilizzando il metodo di scansione dell'intensità sonora 150 9614/2). Il fattore di correzione appena aggiunto è un valore completamente incerto (KpAd), conforme al codice di prova.

· (3) Il peso è solo di riferimento; prevarrà il peso effettivo fornito.

ZR200X-400X

Le condizioni di riferimento prestazionali dell'unità sono state misurate secondo l'Allegato C, 4a edizione (2009) della norma ISO 1217:

· Umidità relativa: 0%

· Pressione assoluta in ingresso: 1 bar

· Temperatura di ingresso: 20°C La velocità di scarico (FAD) è stata misurata alle seguenti pressioni di esercizio:

Tipo a velocità costante:

·  tipo -7,5 bar: 7 bar

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo VSD:

· Tipo -8,6 bar: 7 bar

· Tipo -10,4 bar: 9 bar

· (2) Livello di pressione sonora di emissione ponderato in classe A della postazione di lavoro (LpWSAd). Misurato secondo ISO 2151:2004 (utilizzando il metodo di scansione dell'intensità sonora 150 9614/2). Il fattore di correzione appena aggiunto è un valore completamente incerto (KpAd), conforme al codice di prova.

· (3) Il peso è solo di riferimento; prevarrà il peso effettivo fornito.

Caso di studio dell'utente del laboratorio per camere bianche

Un produttore di elettronica in Asia ha installato il sistema d'aria specializzato DECHUAN per fornire circuiti di generazione di azoto ad elevata purezza e bracci di prova pneumatici. In precedenza, i compressori standard consentivano alle tracce di vapori d'olio di migrare oltre i filtri in linea, rivestendo lenti litografiche e causando microfratture nei rivestimenti dei wafer. Dopo aver installato il compressore d'aria senza olio per i laboratori di semiconduttori, il laboratorio non ha segnalato alcun incidente di contaminazione della linea correlato all'olio, risparmiando sostanziali costi di pulizia e ricalibrazione della camera bianca in due anni di funzionamento continuo.

Personalizzazione e controllo dei componenti personalizzati

• Aggiornamento del materiale in acciaio inossidabile: sostituiamo tutti i componenti interni standard in fusione con acciaio inossidabile di alta qualità per soddisfare le rigorose linee guida sulla microcontaminazione.

• Protocolli di comunicazione avanzati: l'unità è precaricata con protocolli di comunicazione specializzati, che consentono ai centri di controllo delle camere bianche di monitorare in remoto i parametri dell'aria.

• Ingombro strutturale compatto: la disposizione interna è ottimizzata per ridurre al minimo l'ingombro, facilitando l'installazione in spazi ristretti nel seminterrato del laboratorio.

Domande frequenti sugli acquirenti industriali

D: Possiamo collegare questo compressore direttamente a circuiti di filtraggio ad altissima purezza (UHP)?

R: Sì, la nostra uscita dell'aria è completamente compatibile con gli essiccatori ad adsorbimento avanzati per camere bianche e i sistemi di filtraggio delle particelle submicroniche. Poiché l'aria grezza non contiene vapori d'olio, i filtri specializzati nel punto di utilizzo non si ostruiranno con la nebbia d'olio, prolungando la durata del filtro.

D: In che modo le tenute di tipo Z garantiscono una migrazione di olio pari a zero dal gruppo ingranaggi?

R: Il compressore d'aria senza olio per laboratori di semiconduttori è dotato di uno spazio fisico di sfiato atmosferico tra la scatola degli ingranaggi lubrificata a olio e la camera di compressione a secco. Speciali guarnizioni ad anello in carbonio senza contatto sono accoppiate con canali di pressione negativa, garantendo che qualsiasi nebbia d'olio per ingranaggi sia completamente bloccata dall'ingresso nel flusso di aria pulita.

D: Cosa succede se un sensore di temperatura interno rileva una lettura anomala?

R: Il controller Elektronikon® campiona i dati vitali più volte al secondo. Se in qualsiasi momento viene rilevato un picco di temperatura, il sistema attiva immediatamente uno spegnimento automatico e chiude le valvole di isolamento, garantendo che l'aria non raffreddata non fluisca mai a valle nelle sensibili apparecchiature del laboratorio.